基本原理
通常的被動減振體系如圖所示，由需要減振的裝置（mass M）和一個彈簧阻尼單元組成，它可以減小來自地板的高頻振動。但由于這種體系會在本征頻率時引起共振而增加振動，通常被動減振體系會設計成2 Hz 到5 Hz的本征頻率和1%到5%的輕微阻尼。主動減振體系是用一個調節器代替了粘滯阻尼器，根據sky-hook 阻尼控制理論，將減振裝置（mass M）絕對速度的比例量作為反饋作用于減振裝置，這樣大大提高了減振的效果。
應用領域
• 掃描探針顯微技術（AFM, STM）
• 納米力學探針
• 掃描電子顯微技術（SEM, FE-SEM）
• 共聚焦顯微術
• 超高真空掃描隧道顯微術（UHV-STM）
• 激光掃描顯微鏡
• 液晶生產設備
• 半導體檢測儀器
• 膜片鉗 （Patch-Clamp）技術
• 光學輪廓儀
• 生命科學Screening stations
• 顯微硬度檢測儀
• 光學干涉儀
• 超微量天平